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[와이즈맥스 뉴스] 반도체 공정기술로 수소 생산효율 높였다.

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작성자 와이즈맥스 댓글 0건 조회 7,888회 작성일 23-09-22 14:16

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- 전기 전자 반도체 뉴스 -

국내 연구진이 고가의 이리듐과 같은 귀금속 촉매를 대체할 수 있는 반도체 공정기술을 개발했다는 소식입니다.

POSTECH(포스텍) 기계공학과 안지환 교수는 서울과학기술대 김형준 박사, 미국 캘리포티아대 머세드 캠퍼스 이민환 교수와 함께 플라즈마를 활용한 원자층 증착 공정을 통해 아주 적은양의 루테늄으로 고체 산화물 수전해 전지(SOEC)의 성능을 획기적으로 높이는 데 성공했고 해당 연구는 국제학술지 'ACS 카탈리시스(ACS Catalysis)'에 게재되었습니다.

'원자층 증착 공정(이하 ALD)'은 기판에 원자층 단위로 매우 균일하고 얇은 막을 입히는 방법으로 최근 반도체 소자의 소형화에 따라 큰 주목을 받고 있는 기술로 연구팀은 이 ALD 공정에 플라즈마를 결합한 공정(PEALD)을 통해  SOEC의 전극에 7.5Å(옹스트롬, 10-10미터) 정도의 매우 얇은 루테늄을 증착시켰습니다.

산소 전극 표면에 얇게 증착된 루테늄은 산소 발생 반응을 촉진함과 동시에 전극을 구성하는 스트론튬(Sr)과 화합물(SrRuO3)을 형성해 스트론튬이 전극에서 분리되지 않도록 하여 SOEC의 내구성을 높였고 실험 결과 얇은 루테늄 막이 코팅된 SOEC의 수소 생산 성능이 기존 전지 대비 49.1% 향상되었습니다.

또 수소로 전기를 생산하는 수소 연료전지에 이 기술을 적용한 결과 전지의 성능이 기존 대비 31.9% 증가했습니다.

매우 적은양의 루테늄 양방향 촉매로 수소를 생산하고 수소로 전기를 만드는 두 전지의 성능을 모두 높이는데 성공한 것입니다.

안지환 교수는 "최신 반도체 공정인 PEALD로 극미량의 안정적 촉매를 제작함으로써 SOEC 및 연료전지(SOFC)의 효율을 높일 수 있었다"며 "앞으로도 국내의 우수한 반도체 공정 기술이 수소와 재생 에너지 분야의 기술 혁신을 이끄는 디딤돌이 되길 바란다"고 전했습니다.


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