[와이즈맥스 뉴스

- 반도체 뉴스 -

해외 기업이 국산 반도체 장비에 들어가는 인공지능(AI) 특허를 사실상 독점하고 있는 것으로 나타났습니다.

국내 업체 일부도 AI 특허 확보에 나섰지만 턱없이 부족한것이 현실인데요 반도체 공정 생산성 향상의 핵심인 AI 기술에서 밀리면서 한국 반도체 장비 경쟁력도 뒤쳐질 것이라는 우려가 큽니다.

차세대지능형반도체사업단이 한국반도체디스플레이기술학회와 공동으로 외국계 반도체 장비 상위 10개사, 국내 반도체 장비업체 10개사 대상으로 AI 특허 경쟁력을 조사했는데요 그결과 국내 반도체 장비 관련 AI 출원 특허 가운데 외국계 기업 비중은 98%로 확인이 되었습니다. 미국 KLA이 54건으로 가장 많았고 ASM과 ASML이 각가 24개, 20개로 뒤를 이었습니다. 히타치하이테크는 12개 어플라이드는 11개를 출원했는데요 국내 장비업체는 세메스가 2건 피에스케이가 1건등 총 3건에 불과했다고 합니다.

외국계 기업은 지난 2008년부터 AI관련 특허를 우리나라에 출원했는데요 대부분 글로벌 기업이 관례적으로 여러 국가에 특허를 출원하지만 일찌감치 기술의 배타적 권리를 확보하는 전략을 펼친 셈입니다. 차세대지능형반도체사업단장은 대부분 특허가 18개월후 공개한다는 것을 감안하면 외국계 기업은 조기 공개와 우선 심사등으로 권리 확보를 서두르고 있다고 평가했고 특히 반도체 슈퍼사이클이 본격화한 2017년부터 외국계 기업의 특허 출원이 급증했다고 밝혔습니다.

우리나라의 경우에는 2018년이 되서야 처음 관련 특허를 출원했으니 차이가 매우크다고 할수 있습니다.

반도체 장비 내 AI 기술 활용도는 생산성과 직결되는데요 웨이퍼 이송, 공정 레시피 최적화, 결함 패턴 분석에 적용됩니다. 이를 통해 공정시간을 단축하고 반도체 생산 비용을 줄일수 있고 수율까지도 높일수 있다고 하는데요 업계에서는 반도체 장비에 AI기술을 적용하면 최대 10배 이상 생산성을 높일수 있는것으로 평가하고 있습니다.

특허 권리를 제때 확보하지 못하면 반도체 장비 경쟁력도 떨어지게 됩니다. 외국계 장비업체는 이미 AI를 적용한 반도체 장비를 선보이며 반도체 제조사의 생산성 향상을 뒷받침하고 있기 대문인데요 어플라이드는 AI플랫폼으로 공정 순서 등을 최적화하고 있습니다. 램리서치는 AI 기술을 통해 실험 설계수와 비용을 20% 절감할수 있다는 강점을 마케팅에 활용하고 있고 KLA과 TEL도 계측및 테스트장비에 AI를 적용했습니다.

AI특허 경쟁력은 차세대 반도체 장비 시장 진입 장벽도 만들게 되는데요 반도체 제조 공정의 유사성 때문에 외국계 기업이 특허를 우선 확보하면 국산 장비 개발의 발목을 잡을수 있기 때문입니다.

차세대지능형반도체사업단장은 국내 반도체 장비의 AI 특허 도입 및 개발이 예상외로 뒤쳐진 상황이라면서 진단과 시험 분야등 상대적으로 도입이 쉬운 분야부터 AI 특허 출원을 추진할 필요가 있다고 강조했습니다.