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[와이즈맥스 뉴스] 포스텍 열증착 기술 이용해 친환경 대면적 반도체 공정 개발

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작성자 와이즈맥스 댓글 0건 조회 726회 작성일 22-12-14 15:02

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- 반도체 뉴스 -

포스텍(POSTECH)이 노용영 화학공학과 교수·아오 리우 박사팀이 간단한 열증착 공정을 통해 황화비스무트(Bi2S3)로고성능 N형 반도체와 텔루륨(Te) 고성능 P형 반도체를 만드는데 성공했다고 밝혔습니다.

현재 8세대 유기발광 다이오드(OLED, 2200x2500mm)를 제조하는 열 증착 공정을 이용해 대면적으로도 만들수 있고 제조단가가 저렴하면서도 간단하고 친환경적 공정이라는 점에서 OLED 디스플레이 구동회로 및 다양한 반도체 회로에 활용될 것으로 기대되고 있습니다.

현재 OLED 디스플레이 구동회로로 사용되는 저온 다결정 실리콘과 산화물 반도체가 결합한 LTPO 구동회로는 낮은 소비전력으로 인해 모바일 기기의 배터리 수명 연장에 강점이 있지만 제조공정이 복잡하고 제조 비용이 많이 드는 단점이 있습니다.

연구팀은 그래핀과 비슷한 2차원 물질 '전이금속칼코젠'을 활용했는데요 칼코젠은 주기율표상 16족에 해당하는 원소 중 산소를 제외한 황, 셀레늄, 텔레늄을 의미하는데 여기에 전이금속을 더해 만든 화합물은 반도체와 도체 상태를 모두 가지게 됩니다.

그중에서도 황화비스무트를 이용하되 기존에 알려졌던 용액공정이 아니라 물질을 고진공상태에서 열에 의해서 승화시켜 발생한 증기를 기판에 부착시키는 열 증착 방식을 사용해 반도체 박막을 제작했고 특히 간단한 열처리를 통해서 전하량을 조절, 토핑 없이도 반도체와 도체를 자유롭게 제조할수 있는 공정은 이번 연구의 핵심으로 알려졌습니다.

연구팀은 이를 기반으로 고성능 N형 박막트랜지스터를 구현하는 한편 동일한 방식으로 텔루륨(Te) 고성능 P형 반도체를 만드는 데도 성공했습니다. 이 방식은 OLED 디스플레이 발광소자를 제조하는 표준방식으로 OLED 디스플레이 제조공정에 이 트랜지스터와 전자회로 제조를 추가하면 한 번의 공정으로 OLED 디스플레이를 제조할수 있습니다.

비싼가격이 단점으로 꼽히는 OLED 디스플레이 제조단가를 획기적으로 낮추는데 기여할것으로 기대되며 특히 새로운 장비를 마련할 필요 없이 기존에 사용하고 있는 OLED용 열 증착장비를 활용할수 있어 공정에 필요한 예산과 제조 비용을 줄일수 있습니다.

노용영 교수는 "이번 연구 결과는 향후 칼코젠 반도체 소자를 활용한 다양한 연구 및 상용화로 이어질 것으로 기대된다"면서 "메모리소자, 뉴로모픽 디바이스로 연구를 확대하고 있다"고 계획을 밝혔습니다.


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